发明名称 |
粘接片及其制造方法、以及半导体装置的制造方法及半导体装置 |
摘要 |
本发明提供一种粘接片,其为具备剥离基材10、基材薄膜14、及配置于剥离基材10与基材薄膜14之间的第1粘接着层12的粘接片;剥离基材10上,由第1粘接着层12侧的面形成环状的切入部分D,第1粘接着层12为按覆盖剥离基材10的所述切入部分D的内侧面整体而层叠,所述切入部分D的切入深度d为小于剥离基材10的厚度,且为25μm以下。 |
申请公布号 |
CN101040023B |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN200580034993.3 |
申请日期 |
2005.09.30 |
申请人 |
日立化成工业株式会社 |
发明人 |
田中麻衣子;宇留野道生;松崎隆行;古谷凉士;增野道夫;稻田祯一 |
分类号 |
C09J7/00(2006.01)I;C09J201/00(2006.01)I;H01L21/301(2006.01)I |
主分类号 |
C09J7/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
钟晶 |
主权项 |
粘接片,其为具备剥离基材、基材薄膜、和配置于所述剥离基材与所述基材薄膜之间的第1粘接着层的粘接片,其特征为,所述剥离基材上,由所述第1粘接着层侧的面形成环状的切入部分;所述第1粘接着层为,按覆盖所述剥离基材的所述切入部分的内侧面整体来层叠;所述切入部分的切入深度为小于所述剥离基材的厚度,且为25μm以下。 |
地址 |
日本东京都 |