溅镀基材固持装置

摘要

本发明涉及一种溅镀基材固持装置，其用于在溅镀过程中对基材进行固持，所述基材具有一溅镀表面及一与所述溅镀表面相邻的侧面，所述溅镀基材固持装置包括一个用于承载所述基材的基板；多个夹持单元，其环绕所述基材分布在基板上，以分别从所述基材的侧面抵持住该基材，所述多个夹持单元为多个抵片，所述抵片包括一基部及一延伸部；多个固持单元，其分别连接于所述基板及所述多个夹持单元，以将所述多个夹持单元固定在基板上。所述溅镀基材固持装置通过设置多个夹持单元以分别从所述基材的侧面抵持住该基材，从而可于溅镀过程中对所述基材起固持作用，并可避免基材的溅镀表面在溅镀时被遮盖住，进而可使所述基材获得较佳的溅镀效果。

主权项

一种溅镀基材固持装置，用于在溅镀过程中对基材进行固持，所述基材具有一溅镀表面及一与所述溅镀表面相邻的侧面，所述溅镀基材固持装置包括：一个基板，用于承载所述基材；多个夹持单元，其环绕所述基材分布在基板上，以分别从所述基材的侧面抵持住该基材，所述多个夹持单元为多个抵片，所述抵片包括一基部及一从所述基部一端延伸出来的延伸部，且所述延伸部垂直于所述基部，所述抵片的基部从所述基材的侧面抵持住该基材；多个固持单元，其分别穿过所述基板及所述多个抵片的基部，以将所述多个抵片固定在基板上。