超高压汞灯的恒功率控制电路

摘要

本发明涉及一种超高压汞灯的恒功率控制电路，用在光刻机超高压汞灯的电源电路中。本发明由分别检测所述汞灯电压和电流信号的电压传感器和电流传感器、第一和第二放大器、模拟乘法器、滤波及信号调节电路、电压跟随器和脉宽控制器组成；所述电压传感器的输出端经第一放大器接模拟乘法器的一个输入端；所述的电流传感器的输出端经第二放大器接模拟乘法器的另一个输入端；所述模拟乘法器的输出端依次经滤波及信号调节电路、电压跟随器接脉宽控制器的输入端。本发明的优点是有效地提高了超高压汞灯的光强的稳定性，从而提高了电子元器件的成品率和质量。

主权项

一种超高压汞灯的恒功率控制电路，其特征在于它由分别检测所述汞灯电压和电流信号的电压传感器和电流传感器、第一和第二放大器、模拟乘法器、滤波及信号调节电路、电压跟随器和脉宽控制器组成；所述电压传感器的输出端经第一放大器接模拟乘法器的一个输入端；所述的电流传感器的输出端经第二放大器接模拟乘法器的另一个输入端；所述模拟乘法器的输出端依次经滤波及信号调节电路、电压跟随器接脉宽控制器的输入端。