滤色器的制造方法、带图案基板的制造方法及小型光掩模

摘要

一种滤色器的制造方法，按如下顺序多次重复至少如下工序：涂布工序，在基板上涂布由感光性树脂组成物构成的感光性树脂层；图案曝光工序，对感光性树脂层进行图案曝光并使其固化；显影工序，对感光性树脂层进行显影；以及烧成工序，使显影后的感光性树脂层热固化，形成滤波器节及黑矩阵，在上述曝光工序中，将激光用作光源，且经由用于形成像素的光掩模，以累积曝光量成为1～150mJ/cm2的方式进行接近式曝光。

主权项

一种滤色器的制造方法，其特征在于，按如下顺序多次重复至少如下工序：(a)涂布工序，在基板上涂布由感光性树脂组成物构成的感光性树脂层；(b)图案曝光工序，对上述基板上的感光性树脂层进行图案曝光并使其固化；(c)显影工序，除去上述感光性树脂层的未曝光(未固化)部分，并对曝光后的感光性树脂层进行显影；以及(d)烧成工序，使上述显影后的感光性树脂层热固化，形成滤波器节及黑矩阵，在上述曝光工序(b)中，将激光用作光源，且经由用于形成像素的光掩模，以累积曝光量成为1～150mJ/cm2的方式进行接近式曝光。