| 发明名称 | 双极脉冲电源及并联多台该双极脉冲电源的电源装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种双极脉冲电源，其按照规定的频率向与等离子体接触的一对电极进行双极脉冲供电，可减轻电桥电路的开关元件的开关损耗，不用高性能开关元件便可实现高耐久性。双极脉冲电源包括：连接于源自直流电力供应源(1)的正和负的直流输出端的、包含开关元件(SW1～SW4)的电桥电路(22)，以及控制电桥电路的各开关元件的开、闭切换的控制装置。在源自直流电力供应源的正和负直流输出间设置输出短路用的开关元件(SW0)，通过该输出短路用开关元件的短路状态而由控制装置来进行电桥电路的各开关元件的切换。 | ||
| 申请公布号 | CN102047548A | 申请公布日期 | 2011.05.04 |
| 申请号 | CN200980119323.X | 申请日期 | 2009.05.20 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 堀下芳邦;小野敦;大岛亘 |
| 分类号 | H02M7/48(2007.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H02M7/5387(2007.01)I | 主分类号 | H02M7/48(2007.01)I |
| 代理机构 | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人 | 齐永红 |
| 主权项 | 一种双极脉冲电源，包括：连接于源自直流电力供应源的正和负直流输出端的、由开关元件组成的电桥电路，以及控制电桥电路的各开关元件的开、闭切换的控制装置；按照规定的频率向与等离子体接触的一对电极进行双极脉冲供电；其特征在于，在源自所述直流电力供应源的正和负直流输出间设置输出短路用的开关元件，通过该输出短路用开关元件的短路状态而由控制装置来进行电桥电路的各开关元件的切换。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||