一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法

摘要

本发明涉及一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法，该方法包括：将硅粉加入到干燥器后，用140-160℃的干燥氮气干燥5-6个小时；控制系统控制将干燥后的硅粉与氯化氢按1∶3-1∶4的摩尔比送入合成炉；在合成炉内，硅粉和氯化氢进行气固相反应；合成炉的排出物经旋风分离器和硅尘过滤器除尘，将其中残存的硅尘回收，再送入合成气加压冷凝系统；将上述冷凝后的原料液送入精馏塔进行三级精馏，分离得纯度大于99.9％的三氯氢硅。本发明解决了现有技术中不能实现连续生产和副产物含量过高的技术问题，大大提高了装置生产效率、生产的安全稳定性及三氯氢硅的产率和纯度。

主权项

一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法，包括如下步骤：A、将硅粉加入到干燥器后，用140‑160℃的干燥氮气干燥5‑6个小时；B、控制系统结合三氯氢硅合成炉的产率和氯化氢的进料量控制给料装置向合成炉内送入干燥后的硅粉，实现全封闭化自动连续加料，所述的硅粉与氯化氢的摩尔比为1∶3‑1∶4；C、在合成炉内，硅粉和氯化氢进行气固相反应。