Production of epitaxial films,申请号US19610129919-传众专利搜索

发明名称	Production of epitaxial films
摘要
申请公布号	US3364084(A)	申请公布日期	1968.01.16
申请号	US19610129919	申请日期	1961.05.29
申请人	MONSANTO COMPANY	发明人	RUEHRWEIN ROBERT A.
分类号	C01B25/06;C01B25/08;C01G31/00;C22C1/00;H01L21/00;H01L21/18;H01L21/205;H01L29/00;H01L31/00	主分类号	C01B25/06
代理机构		代理人
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