发明名称 半导体密封材料以及使用该半导体密封材料的半导体密封方法
摘要 本发明的半导体密封材料的特征在于,由金属包覆用玻璃构成,该金属包覆用玻璃的应变点为480℃以上,与104dPa·s的粘度相应的温度为1100℃以下,在30~380℃下的热膨胀系数为70×10-7~110×10-7/℃。本发明的半导体密封材料不含对环境有害的物质,具有500℃以上的较高耐热温度,而且,可以密封镀铜铁镍合金等易氧化的金属。
申请公布号 CN102046548A 申请公布日期 2011.05.04
申请号 CN200980119133.8 申请日期 2009.06.18
申请人 日本电气硝子株式会社 发明人 桥本幸市
分类号 C03C3/091(2006.01)I;C03C3/089(2006.01)I;C03C3/093(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I 主分类号 C03C3/091(2006.01)I
代理机构 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 代理人 陈波;杨本良
主权项 一种半导体密封材料,其特征在于,该半导体密封材料由金属包覆用玻璃构成,该金属包覆用玻璃的应变点为480℃以上,与104dPa·s的粘度相应的温度为1100℃以下,在30~380℃下的热膨胀系数为70×10‑7~110×10‑7/℃。
地址 日本滋贺县