光学镜头

摘要

一种用于激光加工使用的光学fθ镜头，包括透镜组和光阑，所述光阑位于透镜组的前方，透镜组包括三个透镜，分别为第一、第二、第三透镜，依次排列为“负-正-正”分离的光焦度系统，所述第一透镜为凹平型负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为双凸型正透镜，第二透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲，其中，整个光学系统的焦距为f，第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3，各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率满足以下要求关系：-0.6＜f1/f＜-0.4；1.0＜f2/f＜1.2；0.6＜f3/f＜0.8。本发明所提供的光学fθ镜头，使得系统的的球差、彗差与场曲都达到较好的平衡，使得成像结果良好且在整个像面上成像均匀，且该结构应用于大口径入射的fθ镜头的小型化取得较好的效果。

主权项

一种用于激光加工使用的光学fθ镜头，包括透镜组和光阑，其特征在于：所述光阑位于透镜组的前方，透镜组包括三个透镜，分别为第一、第二、第三透镜，依次排列为“负—正—正”分离的光焦度系统，所述第一透镜为凹平型负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为双凸型正透镜，第二透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲，其中，整个光学系统的焦距为f，第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3，各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率满足以下要求关系：f1/f＝‑0.5；f2/f＝1.14；f3/f＝0.62；且在第三透镜的像方侧设置有焦平面，第一透镜L1与第二透镜L2在光轴上的间隔为7mm，所述第二透镜与第三透镜在光轴上的间隔为0.1mm，第三透镜与焦平面在光轴上的距离为316.2mm，且第一透镜分别由曲率半径为R1＝‑67.074mm、R2＝∞mm的两个曲面构成，其光轴上的中心厚度d1＝12mm；第二透镜分别由曲率半径为R3＝‑201.899mm、R4＝0.1mm的两个曲面构成，其光轴上的中心厚度d3＝9mm；第三透镜分别由曲率半径为R5＝18mm、R6＝‑316.2mm的两个曲面构成，其光轴上的中心厚度d5＝18mm。