发明名称 |
老化测试系统 |
摘要 |
一种老化测试系统,包括老化板和老化测试装置,所述老化板包括:第一接口件,适于与所述老化测试装置相连接,实现与所述老化测试装置之间信号的输入和/或输出;第二接口件,适于与待测器件相连接,实现与所述待测器件之间信号的输入和/或输出;其中,所述老化测试系统还包括:引脚匹配单元,与所述老化板活动连接,适于根据所述待测器件的引脚定义,调整所述第一接口件与第二接口件中信号的对应连接关系。本发明能够实现采用同一块老化板对具有相同引脚数量、但不同引脚定义的不同待测器件进行老化测试,与现有老化板相兼容,提高了生产效率,并节约了成本。 |
申请公布号 |
CN102043100A |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN200910196931.2 |
申请日期 |
2009.10.09 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
张荣哲;简维廷;江顺旺 |
分类号 |
G01R31/00(2006.01)I;G01R1/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
李丽 |
主权项 |
一种老化测试系统,包括老化板和老化测试装置,所述老化板包括:第一接口件,适于与所述老化测试装置相连接,实现与所述老化测试装置之间信号的输入和/或输出;第二接口件,适于与待测器件相连接,实现与所述待测器件之间信号的输入和/或输出;其特征在于,所述老化测试系统还包括:引脚匹配单元,与所述老化板活动连接,适于根据所述待测器件的引脚定义,调整所述第一接口件与第二接口件中信号的对应连接关系。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |