介质保持单元及具备该介质保持单元的介质处理装置

摘要

本发明提供一种介质保持单元及具备该介质保持单元的介质处理装置，其中，保持部包含以按压所述介质的孔的内周的方式起作用的至少三个按压部，所述按压部在不抵接所述内周的第一位置、和抵接并按压所述内周的第二位置之间可移动，且所述各按压部构成为，在向所述第一位置移动时彼此联动，在位于所述第二位置时从其它的按压部独立地按压所述内周。

主权项

一种介质保持单元，其用于保持板状的介质，其中，具备保持部，该保持部包含用于按压所述介质的孔的内周而保持该介质的三个按压部、分别设有所述三个按压部且能够以旋转中心轴为中心旋转的三个旋转板和架设于相邻的所述旋转板的三个施力部件，所述三个按压部能够在通过所述三个旋转板向第一方向旋转而缩窄到能够插入所述孔中的状态以不抵接所述内周的第一位置、和通过所述三个旋转板向与所述第一方向相反的第二方向旋转而抵接并按压所述内周的第二位置之间移动，所述三个施力部件以向所述三个按压部朝向所述第二位置的方向即所述第二方向对所述三个旋转板进行施力的方式架设于相邻的旋转板彼此之间，所述三个旋转板构成为与一个旋转板的旋转联动，其它两个旋转板也旋转，在所述一个旋转板向所述第一方向旋转时，该一个旋转板的旋转力传递到所述其它两个旋转板，从而该其它两个旋转板向所述第一方向旋转，在所述一个旋转板向所述第二方向旋转时，在所述施力部件的施加力作用下所述其它两个旋转板与所述一个旋转板独立地向所述第二方向旋转，各所述按压部在位于所述第二位置时，不与其它按压部联动而独立地按压所述内周。