通过纳米线生长形成的单片高纵横比纳米尺寸扫描探针显微镜尖端

摘要

公开了一种扫描探针，其中通过从尖端的顶部部分生长外延纳米线来延伸微加工的锥体尖端。金属的颗粒例如金，可以终止所述纳米线以实现无孔径近场光学显微探针。

主权项

一种形成扫描探针的方法，包括以下步骤：形成悬臂梁的阵列；通过各向异性蚀刻在每一个所述悬臂梁之上形成硅锥体尖端；在所述硅锥体尖端的所述顶部部分之上淀积催化剂；通过所述催化剂在所述硅锥体尖端之上生长纳米线；以及从所述硅锥体侧面去除非垂直纳米线。