发明名称 |
一种钼酸盐添加剂及含其的多晶硅或单晶硅切割液 |
摘要 |
本发明公开了一种钼酸盐添加剂,其为钼酸钠和油酸二乙醇酰胺硼酸酯按1∶5~1∶20的质量比组成的混合物。本发明还公开了一种多晶硅或单晶硅切割液,其包含下述质量百分比组分:聚乙二醇100-1000 30-90%,非离子表面活性剂0.5-5%,螯合剂1-10%,有机醇0.5-5%,本发明钼酸盐添加剂1-5%和去离子水0-67%。本发明的切割液克服了现有的多(单)晶硅切割液制造工艺复杂、成本高、对环境不友好等缺陷,技术性能优异,重复性好,质量稳定。其能减少非正常停机时间;有效解决切削和磨料粉末再沉积的问题;集渗透、润滑、冷却、清洗以及防锈性能于一体,无毒无害,成本低廉,总回收率高。 |
申请公布号 |
CN102041137A |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN200910197011.2 |
申请日期 |
2009.10.12 |
申请人 |
上海洗霸科技有限公司 |
发明人 |
王炜 |
分类号 |
C10M141/12(2006.01)I;C10M125/00(2006.01)I;C10M139/00(2006.01)I;C10M173/02(2006.01)I;C10N30/16(2006.01)N;C10N30/12(2006.01)N;C10N40/24(2006.01)N |
主分类号 |
C10M141/12(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
薛琦;朱水平 |
主权项 |
一种钼酸盐添加剂,其特征在于:其为钼酸钠和油酸二乙醇酰胺硼酸酯按照1∶5~1∶20的质量比组成的混合物。 |
地址 |
200438 上海市汶水东路181弄三九大厦2号28F |