发明名称 一种钼酸盐添加剂及含其的多晶硅或单晶硅切割液
摘要 本发明公开了一种钼酸盐添加剂,其为钼酸钠和油酸二乙醇酰胺硼酸酯按1∶5~1∶20的质量比组成的混合物。本发明还公开了一种多晶硅或单晶硅切割液,其包含下述质量百分比组分:聚乙二醇100-1000 30-90%,非离子表面活性剂0.5-5%,螯合剂1-10%,有机醇0.5-5%,本发明钼酸盐添加剂1-5%和去离子水0-67%。本发明的切割液克服了现有的多(单)晶硅切割液制造工艺复杂、成本高、对环境不友好等缺陷,技术性能优异,重复性好,质量稳定。其能减少非正常停机时间;有效解决切削和磨料粉末再沉积的问题;集渗透、润滑、冷却、清洗以及防锈性能于一体,无毒无害,成本低廉,总回收率高。
申请公布号 CN102041137A 申请公布日期 2011.05.04
申请号 CN200910197011.2 申请日期 2009.10.12
申请人 上海洗霸科技有限公司 发明人 王炜
分类号 C10M141/12(2006.01)I;C10M125/00(2006.01)I;C10M139/00(2006.01)I;C10M173/02(2006.01)I;C10N30/16(2006.01)N;C10N30/12(2006.01)N;C10N40/24(2006.01)N 主分类号 C10M141/12(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 薛琦;朱水平
主权项 一种钼酸盐添加剂,其特征在于:其为钼酸钠和油酸二乙醇酰胺硼酸酯按照1∶5~1∶20的质量比组成的混合物。
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