| 发明名称 | 清洗基板用洗净液组成物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种清洗基板用洗净液组成物，特别是提供一种洗净力强、洗净后光阻膜形状佳的清洗基板用洗净液组成物。该洗净液组成物的含水率在200ppm以下。 | ||
| 申请公布号 | CN102043356A | 申请公布日期 | 2011.05.04 |
| 申请号 | CN200910207224.9 | 申请日期 | 2009.10.13 |
| 申请人 | 奇美实业股份有限公司 | 发明人 | 施俊安 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 王敏杰;胡红芳 |
| 主权项 | 一种清洗基板用洗净液组成物，其特征在于，所述洗净液组成物的含水率在200ppm以下。 | ||
| 地址 | 中国台湾台南县仁德乡三甲村59-1号 | ||