| 主权项 |
一种在中心室和周边室之间传送基板的基板传送装置，其中所述中心室连接至分别作为所述周边室设置的第一室和第二室，所述基板传送装置包括：设在所述中心室中的包括臂的传送自动机构，所述臂能够使得装载所述基板的手形部件前进/后退并且枢转以将所述基板从作为初始点的所述第一室传送至作为结束点的所述第二室；第一传感器，其在与所述初始点相关联的第一检测点处检测所述基板的端面，其中所述第一传感器设置在当所述手形部件在所述中心室和所述第一室之间前进/后退时所述基板端面经过，以及当所述手形部件在所述中心室中枢转时所述基板端面经过的位置；及控制所述第一传感器和所述传送自动机构的控制单元；其中，所述控制单元：将所述手形部件的移动路线设置为使得位于所述基板在所述手形部件前进/后退的第一方向上的端面上的第一选择点，以及位于所述基板在所述手形部件枢转的第二方向上的端面上的第二选择点经过所述第一检测点；驱动所述传送自动机构，并且使得所述手形部件从所述初始点开始沿所述移动路线移动；使用所述第一传感器在所述第一检测点检测所述第一选择点和所述第二选择点；根据所述第一和第二选择点的检测结果计算所述基板的中心的位置；并且根据所述基板的中心的位置的计算结果将所述基板传送至所述结束点。 |
