发明名称 磁控管用陶瓷部件、使用了该部件的磁控管及磁控管用陶瓷部件的制造方法
摘要 本发明涉及使金属化层的接合强度提高了的磁控管用陶瓷部件。该磁控管用陶瓷部件具有由氧化铝烧结体形成的陶瓷主体部(1)、和在该陶瓷主体部的一部分的表面上设置的Mo-Mn金属化层(9、10),陶瓷主体部为具有包含Mn的晶界相的氧化铝烧结体,陶瓷主体部与Mo-Mn金属化层之间具备富Mn相。
申请公布号 CN101652829B 申请公布日期 2011.05.04
申请号 CN200780052718.3 申请日期 2007.07.06
申请人 株式会社东芝;东芝高新材料公司 发明人 今泉辰弥;星野政则;佐藤英树
分类号 H01J23/14(2006.01)I;C04B41/88(2006.01)I;H01J9/30(2006.01)I 主分类号 H01J23/14(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 周欣;陈建全
主权项 一种磁控管用陶瓷部件,其特征在于,具有由氧化铝烧结体形成的陶瓷主体部、和在该陶瓷主体部的一部分的表面上设置的Mo‑Mn金属化层,所述陶瓷主体部为具有包含Mn的晶界相的氧化铝烧结体,所述陶瓷主体部与所述Mo‑Mn金属化层之间具备富Mn相。
地址 日本东京都