发明名称 |
磁控管用陶瓷部件、使用了该部件的磁控管及磁控管用陶瓷部件的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及使金属化层的接合强度提高了的磁控管用陶瓷部件。该磁控管用陶瓷部件具有由氧化铝烧结体形成的陶瓷主体部(1)、和在该陶瓷主体部的一部分的表面上设置的Mo-Mn金属化层(9、10),陶瓷主体部为具有包含Mn的晶界相的氧化铝烧结体,陶瓷主体部与Mo-Mn金属化层之间具备富Mn相。 |
申请公布号 |
CN101652829B |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN200780052718.3 |
申请日期 |
2007.07.06 |
申请人 |
株式会社东芝;东芝高新材料公司 |
发明人 |
今泉辰弥;星野政则;佐藤英树 |
分类号 |
H01J23/14(2006.01)I;C04B41/88(2006.01)I;H01J9/30(2006.01)I |
主分类号 |
H01J23/14(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
周欣;陈建全 |
主权项 |
一种磁控管用陶瓷部件,其特征在于,具有由氧化铝烧结体形成的陶瓷主体部、和在该陶瓷主体部的一部分的表面上设置的Mo‑Mn金属化层,所述陶瓷主体部为具有包含Mn的晶界相的氧化铝烧结体,所述陶瓷主体部与所述Mo‑Mn金属化层之间具备富Mn相。 |
地址 |
日本东京都 |