输送装置、位置示教方法以及传感器夹具

摘要

本发明提供一种通过进行通常的输送动作而能够获取输送位置的示教信息的、通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置、位置示教方法以及传感器夹具。在传感器夹具(30)将透射光式传感器(32)设置为使光轴(41)和光轴(42)向投影面投影的投影线段相互交叉，且光轴(41)的投影线段与光轴(42)的投影线段均不沿X方向及Y方向。在位置示教时，将该传感器夹具(30)把持设置在晶片输送部(24)而检测目标部件(51、52)。

主权项

一种输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，所述输送装置具备：透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一个以上的目标部件，其能够对所述光轴进行遮光；示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信息，控制所述被输送物的输送位置，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部设置所述目标部件。