用于从真空镀膜室移除碱金属或碱土金属的装置及方法

摘要

本发明涉及一种清洁方法，所述方法用于将碱金属或碱土金属残余物从向基板(2)上镀碱金属或碱土金属的镀膜装置(1)的真空镀膜腔室(3)移除。为达此目的，将一种选自N2、O2、或空气的气体导入至腔室(3)中，与碱金属或碱土金属反应形成相对应的固体化合物。可另外将水导入此真空镀膜腔室(3)中。在碱金属或碱土金属与气体反应之后，将所产生的相对应的固体化合物从真空镀膜腔室中移除。

主权项

一种用于在镀膜装置(1)的真空镀膜腔室(3)中通过蒸发碱金属或碱土金属而给基板镀膜并用于从所述真空镀膜腔室(3)移除碱金属或碱土金属的设备，包含至少一储气装置(20‑22)，其经由供给管路(23‑25)与所述真空镀膜腔室(3)连接，其中所述储气装置内装有气体，所述气体选自由N2、O2或空气所组成的组。