一种氮氧化物传感器芯片

摘要

本发明公开了一种氮氧化物传感器芯片，由六层基片第一层至第六层基片叠压而成，六层基片的材质均为氧化锆，第二层基片上包括四个空腔，第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四空腔，四个空腔之间依次分别设置有三列扩散障碍层，第三空腔内设置有第一电极，第四空腔内设置有第二电极和第三电极，第三层基片上设有与大气相连的参比气体通道，第三层基片与第四层基片之间设置有参比电极，参比电极上覆盖有多孔氧化铝层，参比气体通道通过小孔与多孔氧化铝层连通，第四层基片与与第五层基片之间设置有加热电极，加热电极的上下各有一层绝缘层，第一层基片上设置有第四电极，第四电极上覆盖有有保护层。结构上可以避免烧结时非活化电极中金的挥发对活化电极的污染，且无需分步烧结，只需将六层基片叠合后一次烧结成型即可。

主权项

一种氮氧化物传感器芯片，由六层基片第一层至第六层基片（1—6）叠压而成，其特征在于：六层基片的材质均为氧化锆，第二层基片（2）上包括四个空腔，第一空腔（7）、第二空腔（9）、第三空腔（13）、第四空腔（16），四个空腔之间依次分别设置有三列扩散障碍层（8、10、14），第三空腔（13）内设置有第一电极（12），第四空腔（16）内设置有第二电极（15）和第三电极（18），第三层基片（3）上设有与大气相连的参比气体通道（22），第三层基片（3）与第四层基片（4）之间设置有参比电极（19），参比电极（19）上覆盖有多孔氧化铝层（20），参比气体通道（22）通过小孔（21）与多孔氧化铝层（20）连通，第四层基片（4）与与第五层基片（5）之间设置有加热电极（23），加热电极（23）的上下各有一层绝缘层（24），第一层基片上设置有第四电极（11），第四电极（11）上覆盖有保护层（25）,所述第三电极（18）上覆盖有一层多孔氧化铝质的膜层（17）。