发明名称 具有穿孔零件的镀膜工艺及设备
摘要 本发明实施例公开了一种具有穿孔零件的镀膜工艺及设备,涉及零件的表面处理技术领域,解决了现有技术中穿孔周边容易出现凸状物等缺陷的问题。本发明实施例先要固定待镀膜的零件,该零件的待镀膜表面具有穿孔;然后在对所述具有穿孔的待镀膜表面镀膜时,从与所述待镀膜表面相对的背侧向所述零件吹扫穿过所述穿孔的气流。本发明实施例主要用在各种金属熔射涂层工艺、喷涂工艺中,特别是用在金属熔射涂层工艺中。
申请公布号 CN102041470A 申请公布日期 2011.05.04
申请号 CN200910235662.6 申请日期 2009.10.10
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 陶林
分类号 C23C4/12(2006.01)I 主分类号 C23C4/12(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种具有穿孔零件的镀膜工艺,其特征在于,包括:固定待镀膜的零件,该零件的待镀膜表面具有穿孔;在对所述具有穿孔的待镀膜表面镀膜时,从与所述待镀膜表面相对的背侧向所述零件吹扫穿过所述穿孔的气流。
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