| 发明名称 | 用于半导体制造的标准机械界面及其激光装配支架 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于半导体制造的标准机械界面的激光装配支架，包括支架本体，所述激光装配支架还包括位于所述支架本体上的多对激光发生器与反射镜的组合，所述反射镜分别将相应的激光发生器发出的激光以一定的角度反射至标准机械界面上相应的传感器处。本发明还提供一种用于半导体制造的标准机械界面，包括上述的激光装配支架。本发明的激光装配支架采用多对激光发生器与反射镜的组合，不再共用一束入射激光而摒弃了脆弱易损的半反半透膜，这大大提高了激光装配支架的使用寿命。另外，价格昂贵且脆弱易损的半反半透膜已经由价格低廉且坚固耐用的激光发生器和反射镜代替，这也大大降低了半导体制造生产成本的支出。 | ||
| 申请公布号 | CN102044460A | 申请公布日期 | 2011.05.04 |
| 申请号 | CN200910197247.6 | 申请日期 | 2009.10.15 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 顾琛;许国青 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 郑立柱 |
| 主权项 | 一种用于半导体制造的标准机械界面的激光装配支架，包括支架本体，其特征在于，所述激光装配支架还包括位于所述支架本体上的多对激光发生器与反射镜的组合，所述反射镜分别将相应的激光发生器发出的激光以一定的角度反射至标准机械界面上相应的传感器处。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||