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发明名称
摘要
申请公布号
KR20110046571(A)
申请公布日期
2011.05.04
申请号
KR20117007087
申请日期
2007.01.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/00
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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