一种金属MEMS电磁继电器

摘要

一种金属MEMS电磁继电器，属于MEMS技术和继电器技术领域。为解决现有电磁继电器体积重量大、集成度低，不能满足微小型自动控制系统对空间占用小、低功耗以及集成化程度要求高的继电器的需求，本发明提供了一种基于金属结构的MEMS电磁继电器，包括活动电极、支撑梁、平面线圈、固定接触电极对、基底和永磁体，平面线圈与基底的接触面、固定接触电极对与基底的接触面以及支撑梁与基底的接触面位于同一个平面内，活动电极高于平面线圈，活动电极与平面线圈之间有一定间隙，永磁体位于基底的下方或者悬臂梁的上方。本发明具有结构简单、工艺易于实现以及成本低的突出优点。

主权项

一种金属MEMS电磁继电器，其特征在于：所述继电器包括活动电极(1)、支撑梁(2)、平面线圈(5)、固定接触电极对(6)、基底(7)和永磁体(8)；所述活动电极(1)包括软磁材料层(3)和电接触材料层(4)，电接触材料层(4)面向固定接触电极对(6)，所述活动电极(1)和基底(7)之间通过支撑梁(2)支撑连接，平面线圈(5)紧贴在基底(7)的上表面或被支撑在基底(7)的上方且平面线圈(5)与活动电极(1)之间有间距；固定接触电极对(6)位于活动电极(1)的正下方，紧贴在基底(7)的上表面，且活动电极(1)向基底(7)运动时能够与固定接触电极对(6)接触；活动电极(1)在基底(7)上的垂直投影覆盖平面线圈(5)的一部分，平面线圈(5)通电时，所述基底(7)上的垂直投影覆盖的这部分导线段中电流方向一致；永磁体(8)位于基底(7)的正下方或者永磁体(8)位于活动电极(1)的正上方或者基底(7)的正下方和活动电极(1)的正上方均有永磁体(8)；所述平面线圈(5)与基底(7)的接触面、固定接触电极对(6)与基底(7)的接触面以及支撑梁(2)与基底(7)的接触面位于同一个平面内。