一种静电卡盘及其残余电荷的消除方法

摘要

本发明提供一种静电卡盘，其包括基座和设置于所述基座内部的电极，该静电卡盘还包括电荷释放单元，所述电极可选择地与设置在静电卡盘外部的电源连接或者与所述电荷释放单元连接，以在加工工艺过程中连接所述电源而获得电能，并在电荷释放过程中，连接所述电荷释放单元以释放掉所述电极上的残余电荷，进而去除该静电卡盘所承载的加工工件上的残余电荷。此外，本发明还提供一种静电卡盘残余电荷的消除方法。本发明提供的静电卡盘及其残余电荷的消除方法，可以借助电荷释放单元将电极和晶片上的残余电荷较为彻底地快速释放掉，从而消除粘片和碎片现象，进而减少工艺中断，提高生产效率和产品良率。

主权项

一种静电卡盘，包括基座和设置于所述基座内部的电极，其特征在于，该静电卡盘还包括电荷释放单元，所述电极可选择地与设置在静电卡盘外部的电源连接或者与所述电荷释放单元连接，以在加工工艺过程中连接所述电源而获得电能；并在电荷释放过程中，连接所述电荷释放单元以释放掉所述电极上的残余电荷，进而去除该静电卡盘所承载的加工工件上的残余电荷。