一种光子晶体微腔激光器

摘要

本发明公开了一种光子晶体微腔激光器，包括一光子晶体微腔和一输出波导，所述光子晶体微腔是在SOI衬底顶层硅上完整的二维平板三角晶格空气孔型光子晶体中间去掉若干个空气孔而形成的，是边长为4个晶格常数的正六边形H4型微腔，与该光子晶体微腔相邻的三层空气孔由内至外分别为最邻近空气孔、次邻近空气孔及第三邻近空气孔，在该光子晶体微腔中注入稀土离子和非金属离子，形成有源区；所述输出波导是从所述光子晶体微腔的某个端点处开始沿光子晶体Γ-K方向去掉一排空气孔而形成的单线缺陷。这种结构具有较大的微腔体积，能够提高微腔的Q值，减少微腔的模式数量，提高微腔对有源介质发光的增强效果。

主权项

一种光子晶体微腔激光器，其特征在于，该光子晶体微腔激光器包括一光子晶体微腔和一输出波导，其中，所述光子晶体微腔是在SOI衬底顶层硅上完整的二维平板三角晶格空气孔型光子晶体中间去掉若干个空气孔而形成的，该光子晶体微腔是边长为4个晶格常数的正六边形H4型微腔，与该光子晶体微腔相邻的三层空气孔由内至外分别为最邻近空气孔、次邻近空气孔及第三邻近空气孔，这三层空气孔采用渐变结构，半径按照由内至外的顺序依次变小，并且均大于非邻近空气孔的半径，在该光子晶体微腔中注入稀土离子和非金属离子，形成有源区；所述输出波导是从所述光子晶体微腔的某个端点处开始沿光子晶体Γ‑K方向去掉一排空气孔而形成的单线缺陷。