发明名称 |
供液系统、供液方法及涂布装置 |
摘要 |
本发明提供一种安全性、经济性、生产率优良的涂布装置的供液系统等。用于向涂布装置(100)的涂布部(120)供给药液的供液系统(1)具备用于储存药液的缓冲罐(3);管路(5-1);与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给药液的管路(5-2);与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给加压用气体的管路(5-4);与缓冲罐(3)以及喷出部(13)、涂布喷嘴(14)等涂布部(120)连接,用于自缓冲罐(3)向涂布部(120)供给液体的管路(5-5)。管路(5-1)、管路(5-2)能够可拆卸地与树脂制容器(17)连接,管路(5-1)能够向连接的树脂制容器(17)供给气体。 |
申请公布号 |
CN102039258A |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN201010229593.0 |
申请日期 |
2010.07.13 |
申请人 |
大日本印刷株式会社 |
发明人 |
古川正;五十岚昭彦 |
分类号 |
B05C11/10(2006.01)I;B05C11/11(2006.01)I;B05C5/00(2006.01)I |
主分类号 |
B05C11/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
黄志华 |
主权项 |
一种供液系统,用于向涂布装置的涂布部供给液体,其特征在于,具备:储存部,用于储存液体;第1流道;第2流道,与所述储存部连接,用于向所述储存部供给液体;第3流道,与所述储存部连接,用于向所述储存部供给气体;第4流道,与所述储存部以及所述涂布部连接,用于自所述储存部向所述涂布部供给液体;所述第1流道、所述第2流道能够可拆卸地连接规定容器,所述第1流道能够向连接的所述规定容器供给气体。 |
地址 |
日本东京都新宿区市谷加贺町一丁目1番1号 |