发明名称 |
薄膜晶体管阵列面板及其制造方法 |
摘要 |
一种薄膜晶体管阵列面板以及一种防止在信号线上形成杂质粒子的薄膜晶体管的制造方法,该薄膜晶体管阵列面板包括:基板;信号线,设置在基板上并包括铜(Cu);钝化层,设置在信号线上并具有暴露信号线的一部分的接触孔;以及导电层,设置在钝化层上,并通过接触孔连接至信号线的该部分,其中,钝化层包括有机钝化层,有机钝化层包括不包含硫的有机绝缘体。 |
申请公布号 |
CN102044556A |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN201010504450.6 |
申请日期 |
2010.10.11 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
崔新逸;丁有光;李基晔;杨东周;宋溱镐 |
分类号 |
H01L27/32(2006.01)I;H01L51/54(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
余刚;吴孟秋 |
主权项 |
一种薄膜晶体管阵列面板,包括:基板;信号线,设置在所述基板上并包括铜;钝化层,设置在所述信号线上,并具有暴露所述信号线的一部分的接触孔;以及导电层,设置在所述钝化层上,并通过所述接触孔连接至所述信号线的所述部分,其中,所述钝化层包括有机钝化层,所述有机钝化层包括不包含硫的有机绝缘体。 |
地址 |
韩国京畿道 |