微结构化的隔离衬片

摘要

本申请涉及一种制品，该制品具有：基底以及结构化的表面；所述基底具有第一主表面和与该第一主表面相背的第二主表面，所述结构化的表面含有粘附到所述基底的所述第一主表面的一部分上的沉积材料，其中所述材料具有超出该第一主表面至少3微米的高度。该结构化的表面部分地由所述沉积材料限定，而且该结构化的表面具有至少一个从该基底的一边延伸到该基底的另一边的连续结构。本申请另外涉及生产该制品的方法。

主权项

一种能用作隔离衬片的制品，该制品具有：基底，该基底具有第一主表面和与该第一主表面相背的第二主表面；以及结构化的表面，该结构化的表面含有沉积材料，该沉积材料粘附在所述基底的所述第一主表面的一部分上，其中所述材料具有超出所述第一主表面至少3微米的高度；其中该结构化的表面部分地由所述沉积材料限定，而且该结构化的表面具有至少一个从该基底的一边延伸到该基底的另一边的连续结构。