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申请公布号 KR20110044881(A) 申请公布日期 2011.05.02
申请号 KR20117004481 申请日期 2009.07.22
申请人 发明人
分类号 G01B15/08;G01N23/22;H01J37/26;H01L21/66 主分类号 G01B15/08
代理机构 代理人
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