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经营范围
发明名称
BATCH DEPOSITION TOOL AND COMPRESSED BOAT
摘要
申请公布号
KR101032217(B1)
申请公布日期
2011.05.02
申请号
KR20087006178
申请日期
2006.08.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/677;C22C16/00
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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