发明名称 资讯记录媒体及其制造方法
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.05.01
申请号 TW092137096 申请日期 2003.12.26
申请人 松下电器产业股份有限公司 发明人 儿岛理惠;西原孝史;山田昇;土生田晴比古
分类号 G11B7/24 主分类号 G11B7/24
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种资讯记录媒体,系藉由施加光照射或电气能源,以记录及/或再生资讯者,又,该资讯记录媒体含有作为第1金属成分之Hf或Hf与Zr,且含有作为第2金属成分之Cr,更含有包含O之Hf/Zr-Cr-O系材料层,且于该Hf/Zr-Cr-O系材料层中,该第1金属成分含有量为大于0原子%,且为30原子%以下,该第2金属成分含有量为7原子%以上,且为37原子%以下。如申请专利范围第1项之资讯记录媒体,其中前述Hf/Zr-Cr-O系材料层,系由式(1):MQCrRO100-Q-R(原子%) (1)(式中,M表示第1金属成分,且Q及R分别为0≦Q≦3.0、7≦R≦37,且,20≦Q+R≦60)表示之材料实质地形成者。如申请专利范围第1项之资讯记录媒体,其中前述Hf/Zr-Cr-O系材料,更包含Si,且系由式(2):MUCrVSiTO100-U-V-T(原子%) (2)(式中,M表示第1金属,且U、V及T分别为0≦U≦30、7≦V≦37及0≦T≦14,且20≦U+V+T≦60)表示之材料实质地形成者。如申请专利范围第1项之资讯记录媒体,其中前述Hf/Zr-Cr-O系材料层,系由式(11):(MO2)N(Cr2O3)100-N(mol%) (11)(式中,M表示第1金属成分,且N为20≦N≦80)表示之材料实质地形成者。如申请专利范围第3项之资讯记录媒体,其中包含前述Si之Hf/Zr-Cr-O系材料层,系由式(21):(MO2)X(Cr2O3)Y(SiO2)100-N(mol%) (21)(式中,M表示第1金属成分,且X及Y分别为20≦N≦70及20≦Y≦60,且60≦X+Y≦90)表示之材料实质地形成者。如申请专利范围第5项之资讯记录媒体,其中以前述式(21)表示之材料系以大略相同比例含有MO2与SiO2,且系以式(22):(MSiO4)Z(Cr2O3)100-Z(mol%) (22)(式中,M表示第1金属成分,且Z为25≦Z≦67)表示者。一种资讯记录媒体,系藉由施加光照射或电气能源,以记录及/或再生资讯者,又,该资讯记录媒体含有作为第1金属成分之Hf或Hf与Zr,且含有作为第2金属成分之Cr,并且系由式(3):(MO2)C(Cr2O3)E(D)F(SiO2)100-C-E-F(mol%) (3)(式中,M表示第1金属成分,且D为ZnS、ZnSe或ZnO,又,C、E及F分别为20≦C≦60、20≦E≦60及10≦F≦40,且60≦C+E+F≦90)表示之材料实质地形成者。如申请专利范围第7项之资讯记录媒体,其中以前述式(3)表示之材料系以大略相同之比例含有MO2与SiO2,且系以式(31):(MSiO4)A(Cr2O3)B(D)100-A-B(mol%) (31)(式中,M表示第1金属成分,且D为ZnS、ZnSe或ZnO,又,A及B分别为25≦A≦54及25≦B≦63,且50≦A+B≦88)表示者。如申请专利范围第1项之资讯记录媒体,更包含有记录层。如申请专利范围第7项之资讯记录媒体,更包含有记录层。如申请专利范围第9项之资讯记录媒体,其中前述记录层包含选自于Ge-Sb-Te、Ge-Sn-Sb-Te、Ge-Bi-Te、Ge-Sn-Bi-Te、Ge-Sb-Bi-Te、Ge-Sn-Sb-Bi-Te、Ag-In-Sb-Te及Sb-Te之任一材料。如申请专利范围第10项之资讯记录媒体,其中前述记录层包含选自于Ge-Sb-Te、Ge-Sn-Sb-Te、Ge-Bi-Te、Ge-Sn-Bi-Te、Ge-Sb-Bi-Te、Ge-Sn-Sb-Bi-Te、Ag-In-Sb-Te及Sb-Te之任一材料。如申请专利范围第9项之资讯记录媒体,其中前述记录层膜厚小于15nm。如申请专利范围第10项之资讯记录媒体,其中前述记录层膜厚小于15nm。如申请专利范围第1项之资讯记录媒体,更包含有2个以上之记录层。如申请专利范围第7项之资讯记录媒体,更包含有2个以上记录层。如申请专利范围第1项之资讯记录媒体,系于基板之其中一表面,依序形成第1介电体层、记录层、第2介电体层及反射层,且前述第1介电体层及前述第2介电体层中至少1个介电体层系前述Hf/Zr-Cr-O系材料层,且连接前述记录层与界面。如申请专利范围第7项之资讯记录媒体,系于基板之其中一表面,依序形成第1介电体层、记录层、第2介电体层及反射层,且前述第1介电体层及前述第2介电体层中至少1个介电体层系前述Hf/Zr-Zn-O系材料层,且连接前述记录层与界面。如申请专利范围第1项之资讯记录媒体,系于基板之其中一表面,依序形成反射层、第2介电体层、记录层及第1介电体层,且前述第1介电体层及前述第2介电体层中至少1个介电体层系前述Hf/Zr-Zn-O系材料层,且连接前述记录层与界面。如申请专利范围第7项之资讯记录媒体,系于基板之其中一表面,依序形成反射层、第2介电体层、记录层及第1介电体层,且前述第1介电体层及前述第2介电体层中至少1个介电体层系前述Hf/Zr-Zn-O系材料层,且连接前述记录层与界面。一种资讯记录媒体制造方法,该资讯记录媒体系藉由施加光照射或电气能源,以记录及/或再生资讯者,又,该资讯记录媒体具有Hf/Zr-Cr-O系材料层,而该Hf/Zr-Cr-O系材料层含有作为第1金属成分之Hf或Hf与Zr,且含有作为第2金属之Cr,并且更含有O,而且该第1金属成分含有量为大于0原子%,且为30原子%以下,该第2金属成分含有量为7原子%以上,且为37原子%以下,又,该资讯记录媒体制造方法包含以溅镀法形成该Hf/Zr-Cr-O系材料层之程序。如申请专利范围第21项之资讯记录媒体制造方法,其中于以溅镀法形成前述Hf/Zr-Cr-O系材料层程序中,使用由式(10):MJCrKO100-J-K(原子%) (10)(式中,M表示第1金属成分,且J及K分别为3≦J≦24及11≦K≦36,且34≦J+K≦40)表示之材料实质地形成之溅镀靶材。如申请专利范围第21项之资讯记录媒体制造方法,其中于以溅镀法形成前述Hf/Zr-Cr-O系材料层程序中,使用由式(20):MGCrHSiLO100-G-H-L(原子%) (20)(式中,M表示第1金属成分,G、H及L分别为4≦G≦21、11≦H≦30及2≦L≦12,且34≦G+H+L≦40)表示之材料实质地形成之溅镀靶材,以形成含有Si之Hf/Zr-Cr-O系材料层。如申请专利范围第21项之资讯记录媒体制造方法,其中于以溅镀法形成前述Hf/Zr-Cr-O系材料层程序中,使用由式(110):(MO2)n(Cr2O3)100-n(mol%) (110)(式中,M表示第1金属成分,n为20≦n≦80)表示之材料实质地形成之溅镀靶材。如申请专利范围第21项之资讯记录媒体制造方法,其中于以溅镀法形成前述Hf/Zr-Cr-O系材料层程序中,使用由式(210):(MO2)x(Cr2O3)y(SiO2)100-x-y(mol%) (210)(式中,M表示第1金属成分,x及y分别20≦x≦70及20≦y≦60,且,60≦x+y≦90)表示之材料实质地形成之溅镀靶材,以形成含有Si之Hf/Zr-Cr-O系材料层。如申请专利范围第25项之资讯记录媒体制造方法,其中前述式(210)表示之材料系以大略相同之比例含有MO2与SiO2,且系以式(220):(MSiO4)Z(Cr2O3)100-Z(mol%) (220)(式中,M表示第1金属成分,z为25≦z≦67)表示之材料。一种资讯记录媒体制造方法,该资讯记录媒体系藉由施加光照射或电气能源,以记录及/或再生资讯者,又,该资讯记录媒体具有由含有作为第1金属成分之Hf或Hf与Zr且含有作为第2金属成分之Cr的Hf/Zr-Cr-Zn-O系材料实质地形成之层,又,该资讯记录媒体制造方法包含以溅镀法形成由该Hf/Zr-Cr-Zn-O系材料实质地形成之层,且于其程序中,使用以式(30):(MO2)c(Cr2O3)e(D)f(SiO2)100-c-e-f(mol%) (30)(式中,M表示第1金属成分,D为ZnS、ZnSe或ZnO,又,c、e及f分别为20≦c≦67、20≦e≦60及10≦f≦40,且60≦c+e+f≦90)表示之材料实质地形成之溅镀靶材。如申请专利范围第27项之资讯记录媒体制造方法,其中以前述式(30)表示之材料系以大略相同之比例含有MO2与SiO2,且系以式(310):(MSiO4)a(Cr2O3)b(D)100-a-b(mol%) (310)(式中,M表示第1金属成分,且D为ZnS、ZnSe或ZnO,又,a及b分别为25≦a≦54及25≦b≦63,且50≦a+b≦88)表示之材料。
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