| 主权项 |
一种晶圆清洗机，包括：一机身，具有至少一个排水支管和至少一个排气支管；一晶圆座，系设置在该机身内部，欲清洗之一晶圆放置在该晶圆座上；一喷嘴，系设置在该机身内部，位在该晶圆座上方，用以供应液体和气体的至少其中之一；以及一盖体，系设置在该机身的顶部，该盖体的中心连接至一第一电动马达的转轴，使该盖体可水平旋转，该盖体也连接至一升降机构。依据申请专利范围第1项所述之晶圆清洗机，其中该排水支管连接至工厂之排水沟，该排气支管连接至工厂之排气通风设备。依据申请专利范围第1项所述之晶圆清洗机，其中该晶圆座中心之下方连接至一第二电动马达的转轴，使该晶圆座在水平平面中系为可旋转的。依据申请专利范围第1项所述之晶圆清洗机，其中该喷嘴连接至一第三电动马达的转轴，使该喷嘴可相对于该晶圆座的表面以一角度移动。依据申请专利范围第1项所述之晶圆清洗机，其中该喷嘴之内部设置有一加热元件。依据申请专利范围第1项所述之晶圆清洗机，其中该盖体具有一吹气装置，该吹气装置系一种空气盲孔。 |
