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发明名称 COATING LIQUID FOR FORMING AMORPHOUS SILICA COATING FILM OF LOW DIELECTRIC CONSTANT AND PROCESS FOR PRODUCING THE COATING LIQUID
摘要
申请公布号 KR101031925(B1) 申请公布日期 2011.04.29
申请号 KR20057007534 申请日期 2003.10.27
申请人 发明人
分类号 C01B33/12;C09D183/04;C08G77/08;C09D5/25;C09D183/02;H01L21/312;H01L21/316 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
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