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经营范围
发明名称
Heating appratus and apparatus for treatment of the substrates
摘要
申请公布号
KR101031316(B1)
申请公布日期
2011.04.29
申请号
KR20080134933
申请日期
2008.12.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/00;H01L31/04
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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