DEVICE AND METHOD FOR DEFLECTING A LIGHT BEAM IN TWO DIFFERENT DIRECTIONS AND SCANNING MICROSCOPE

摘要

Eine Vorrichtung (20) zum Ablenken eines Lichtstrahls in zwei unterschiedliche Richtungen hat einen Spiegel (22), ein erstes und ein zweites Drehstellelement (24). Das erste Drehstellelement (24) dreht sich abhängig von einem ersten Stellsignal um eine erste Achse (54). Das zweite Drehstellelement (26) ist entlang der ersten Achse (54) gegenüber dem ersten Drehstellelement (24) angeordnet und dreht sich abhängig von einem zweiten Stellsignal um die erste Achse (54). Ein erstens Federelement (28) ist mit dem ersten Drehstellelement (24) und außerhalb der ersten Achse (54) in einem vorgegebenen Abstand zu dieser mit dem Spiegel (22) verbunden. Ein zweites Federelement (30) ist mit dem zweiten Drehstellelement (26) und dem Spiegel (22) verbunden.