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发明名称 Sputtersystem mit normalen Target und seitlichen schrägen Targets
摘要
申请公布号 DE102010048270(A1) 申请公布日期 2011.04.28
申请号 DE201010048270 申请日期 2010.10.12
申请人 SUNTEK PRECISION CORPORATION 发明人 CHENG, CHAO-HSI;FU, WEI-YEN
分类号 C23C14/35;C23C14/50 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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