METHOD AND DEVICE FOR TREATING A SUBSTRATE SURFACE OF A SUBSTRATE

摘要

Bei einem Verfahren zur Behandlung einer Substratoberfläche eines flachen Substrats mit einem Prozessmedium an der Substratunterseite weist das Prozessmedium eine abtragende bzw. ätzende Wirkung auf die Substratoberfläche auf. Die Substrate werden horizontal liegend von unten mit dem Prozessmedium benetzt. Die nach oben weisende Substratoberseite wird mit Wasser oder einer entsprechenden Schutzflüssigkeit großflächig bzw. vollflächig benetzt oder bedeckt als Schutz gegen Einwirken des Prozessmediums auf die Substratoberseite.