Diamantähnliches Kohlenstofffilmmaterial und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

In einem diamantähnlichen Kohlenstofffilmmaterial (10) ist eine Zwischenschicht (14) zwischen einem Substrat (12) und einem DLC-Film (16) vorgesehen. Die Zwischenschicht (14) ist eine Verbundschicht, die eine von dem Substrat (12) abgeleitete Metallatomkomponente und einen diamantähnlichen Kohlenstoff aufweist. Beispielsweise kann eine solche Zwischenschicht (14) in einem Plasmaschichtbildungsverfahren durch Aufbringen einer negativen Vorspannung auf das Substrat (12) ausgebildet werden, wobei der Absolutwert der negativen Vorspannung mit der Zeit verringert wird. Ein Kohlenstofftarget oder ein Kohlenwasserstoffgas kann als Kohlenstoffquelle eingesetzt werden.