Vorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl und Verfahren zum Steuern der Vorrichtung,申请号DE20091101537T-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl und Verfahren zum Steuern der Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE112009001537(T5)	申请公布日期	2011.04.28
申请号	DE20091101537T	申请日期	2009.06.10
申请人	HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP.	发明人	KASUYA, KEIGO;OHSHIMA, TAKASHI;KATAGIRI, SOUICHI;KOKUBO, SHIGERU;TODOKORO, HIDEO
分类号	H01J37/073;H01J1/304;H01J37/06	主分类号	H01J37/073
代理机构		代理人
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