| 摘要 |
Ein Metall-Halbleiter-Metall-(metal-semiconductor-metal, MSM)-Bauteil koppelt Licht aus einem optischen Modus in einem Wellenleiter mit einem Oberflächenplasmon-Polaritions-(surface plasmon polarition, SPP)-Modus an einer Elektrodenoberfläche des MSM-Bauteils. Sobald er sich in einem SPP-Modus befindet, kann die Absorption von Licht in dem Halbleiter in einem sehr kleinen Bereich stattfinden. Dies kann ein Schrumpfen des aktiven Detektorbereichs ermöglichen und geringe Kapazität, sehr kurzen Transitabstand für die elektrischen Träger ermöglichen und Bauteile sehr geringer Spannung und/oder sehr hoher Frequenz ermöglichen. |
