发明名称 METHOD FOR PRODUCING VIAS
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Anzahl von Durchkontaktierungen (6) zur Erzeugung von elektrisch und/oder thermisch leitfähigen Verbindungen zwischen verschiedenen Seiten (3, 4) eines Substrats (1). Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Substrat (1) mit wenigstens einer derart hergestellten Durchkontaktierung (6). Um Durchkontaktierungen (6) besonders einfach herstellen zu können, wird vorgeschlagen, wenigstens eine elektrisch und/oder thermisch leitfähige Folie (7) in eine durchgehende, die verschiedenen Substratseiten (3, 4) miteinander verbindende Öffnung (8, 16) einzubringen und Bereiche (9) der wenigstens einen Folie (7) in der Nähe der Ränder (11) der Öffnung (8, 16) auf den Oberflächen der Substratseiten (3, 4) zu befestigen.</p>
申请公布号 WO2011047792(A1) 申请公布日期 2011.04.28
申请号 WO2010EP06183 申请日期 2010.10.11
申请人 MUEHLBAUER AG;ZOLLNER, FRANZ 发明人 ZOLLNER, FRANZ
分类号 H01L21/48;H01L23/498;H05K3/40 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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