SPUTTERING TARGET ASSEMBLY

摘要

Die Erfindung betrifft eine Sputtertargetanordnung mit einem Trägerrohr (1) und einem das Trägerrohr (1) beabstandet umgebenen Targetrohr (2), mit einem zwischen Trägerrohr (1) und Targetrohr (2) angeordneten Metallgewebe (5). Um eine besonders gute Kontaktierung der Rohre zu ermöglichen, schlägt die Erfindung vor, dass das Metallgewebe (5) eine Metalllitze (5) ist, die in überwiegend orthogonaler Orientierung zu den coaxialen Längsachsen von Trägerrohr (1) und Targetrohr (2) im Spalt (6) angeordnet ist und mit ihrer Außenseite (7) die zueinander gerichteten Wände von Trägerrohr (1) und Targetrohr (2) kontaktierend ist. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Bond- Verfahren zur Herstellung der Sputtertargetanordnung.