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发明名称 Verfahren zur Festlegung der relativen Lage einer Messmarke
摘要
申请公布号 CH458762(A) 申请公布日期 1968.06.30
申请号 CH19650007017 申请日期 1965.05.19
申请人 ERNST LEITZ GMBH 发明人 HOCK,FROMUND
分类号 G01B11/00;G01C1/02;G01C1/06;G01D5/26;G01D13/02;G01D18/00;G01R25/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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