铟锡氧化物薄膜的回收方法以及基板的回收方法

摘要

一种铟锡氧化物薄膜的回收方法。首先，提供一待回收物，此待回收物具有一铟锡氧化物薄膜，接着，使一碱液与铟锡氧化物薄膜接触，以使铟锡氧化物薄膜自待回收物剥离并混合于碱液中，其中碱液的成分包括氢氧化钾及/或氢氧化钠。之后，收集剥离的铟锡氧化物薄膜与碱液的混合物，并自铟锡氧化物薄膜与碱液的混合物中过滤而取得含铟的粉末。本发明另提供一种基板的回收方法。本发明采用碱液与铟锡氧化物薄膜接触，使铟锡氧化物薄膜自待回收物上剥离而混合于碱液中，以达到铟锡氧化物薄膜或基板回收的目的。

主权项

一种铟锡氧化物薄膜的回收方法，其特征在于，包括：提供一待回收物，该待回收物具有一铟锡氧化物薄膜；使一碱液与该铟锡氧化物薄膜接触，以使该铟锡氧化物薄膜自该待回收物剥离并混合于该碱液中，其中该碱液的成分包括氢氧化钾及/或氢氧化钠；以及收集剥离的该铟锡氧化物薄膜与该碱液的混合物，并自该铟锡氧化物薄膜与该碱液的混合物中过滤而取得含铟的粉末。