一种碳基钨涂层及其制备方法

摘要

本发明提供一种碳基钨涂层，其特征在于包含碳基体和钨涂层两部分，均匀致密且具有一定厚度的钨涂层牢固地附着在碳基体表面。纯净的钨板作为靶材。碳材料作为基体，优先选择C/C复合材料和石墨。本发明的优点在于：(1)钨涂层沉积速度较快，大大提高了涂层制备的效率。(2)钨靶和碳基体之间产生高密度的等离子云，大量的钨原子不但覆盖在碳基体表面，基体的侧面和背面也包附了钨涂层。(3)涂层表面致密，没有出现裂纹。(4)涂层和C/C复合材料基体结合较好。

主权项

一种碳基钨涂层的制备方法，其特征在于采用双辉等离子炉，包含下述顺序的步骤：(1)碳材料表面用晶相砂纸处理并超声清洗，之后烘干；(2)将碳基体放入双辉炉阴极上，抽真空通入氩气，将阴极电压调节到300‑350V，加热清洗碳基体0.5h‑2h；(3)开炉将钨板放入双辉炉源极上，关炉，抽真空通入氩气，按照设定好的双层辉光离子渗金属工艺参数，以钨板作为靶材进行钨涂层沉积；(4)将制备好的碳基钨涂层在1000℃‑1300℃进行高温处理0.5小时～2小时。