| 发明名称 |
VERTICAL HEAT TREATMENT EQUIPMENT AND METHOD FOR TRANSFERRING OBJECT TO BE TREATED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1752725(B1) |
申请公布日期 |
2011.04.27 |
| 申请号 |
EP20050726958 |
申请日期 |
2005.03.25 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
ASARI, SATOSHI;MIHARA, KATSUHIKO;KIKUCHI, HIROSHI |
| 分类号 |
B65G49/07;F27B5/12;F27B5/04;F27B5/13;F27B17/00;F27D3/12;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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