发明名称
摘要 An arc evaporator comprises: an anode; an evaporation source electrode as a cathode; and a current control unit for supplying an AC square wave arcing current across the anode and the evaporation source electrode.
申请公布号 JP4679004(B2) 申请公布日期 2011.04.27
申请号 JP20010255648 申请日期 2001.08.27
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;H05H1/36;C23C14/32;C23C16/50;C23C16/503;C23C16/515;C23C16/517 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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