Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺

摘要

本发明提供一种Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺，它包括以下步骤：测量Z板籽晶块Z面X向角差，加工并使所有Z板籽晶块的Z面X向角差控制在±5′以内；将朝向一个方向倾斜的Z板籽晶块分选，并将Z板籽晶块Z面X向角差按照相差±1′进行分类；将同类Z板籽晶块粘板得籽晶块粘砣体；根据Z板籽晶块Z面X向角差和Z板籽晶块X向尺寸，计算Z板籽晶块倾斜量；根据Z板籽晶块倾斜量调整Z板籽晶块Z面X向切割角度直至达到要求；采用多刀机批量切割籽晶块粘砣体中的Z板籽晶块。该切割工艺解决了Z板籽晶切割时垂直方向角度无法校正的问题，其具有工艺简单、易于操作、产品质量稳定、可批量生产、角度控制精确的优点。

主权项

一种Z板籽晶块Z面X向角度控制切割工艺，其特征在于：该切割工艺包括以下步骤：步骤1、对Z板籽晶块Z面进行加工，定向，测量Z板籽晶块Z面X向角差，加工需使所有Z板籽晶块的Z面X向角差控制在±5′以内；步骤2、将朝向一个方向倾斜的Z板籽晶块分选，并将Z板籽晶块Z面X向角差按照相差±1′进行分类；步骤3、将同类Z板籽晶块粘板，得到籽晶块粘砣体；粘板时，Z板籽晶块Z面紧靠校角仪垂直靠板，并校正Z板籽晶块Z面Y向的角差至要求范围；步骤4、根据Z板籽晶块Z面X向角差和Z板籽晶块X向尺寸，计算Z板籽晶块倾斜量，即，Z板籽晶块倾斜量等于Z板籽晶块X向尺寸乘以Z板籽晶块Z面X向角差的正切值；步骤5、根据Z板籽晶块倾斜量，调整籽晶块粘砣体的角度，并用杠杆白分表测量Z板籽晶块Z面X向垂直度，使调整直至达到Z板籽晶块Z面X向切割角度的要求范围；步骤6、采用多刀机批量切割籽晶块粘砣体中的Z板籽晶块，要求多刀机工作台水平、多刀机的刀架支撑点水平、多刀机工作台上下运动的垂直度不超过0.02mm。