| 发明名称 | 防尘薄膜组件 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供一种光刻用防尘薄膜组件，即使将该防尘薄膜组件贴合在曝光原版上，也能够尽可能降低因为该防尘薄膜组件框架的变形所导致的曝光原版的变形。为了达成上述目的，本发明提供一种光刻用防尘薄膜组件，其特征为，在防尘薄膜组件框架的一端面上张设防尘薄膜，在另一端面上设置粘合层，该粘合层是由凝胶组成物所构成，该凝胶组成物的ASTM(American Society for Testing and Materials，美国材料及试验协会)D-1403标准所规定的针入度宜在50以上。 | ||
| 申请公布号 | CN102033419A | 申请公布日期 | 2011.04.27 |
| 申请号 | CN201010235003.5 | 申请日期 | 2010.07.21 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 白崎享;塚田淳一 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种光刻用防尘薄膜组件，其特征为，在防尘薄膜组件框架的一端面上张设防尘薄膜，在另一端面上设置粘合层，该粘合层是由凝胶组成物所构成。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||