发明名称 陶瓷配线基板及其制造方法
摘要 本发明提供一种陶瓷配线基板的制造方法,其包括通过低温生长法在陶瓷基板上形成铜层(步骤S13);将所述铜层升温到铜的退火温度以上(步骤S16)和所述升温后将所述铜层冷却(步骤S18)。
申请公布号 CN102030565A 申请公布日期 2011.04.27
申请号 CN201010502140.0 申请日期 2010.09.30
申请人 揖斐电株式会社 发明人 古市涉;本多宏和
分类号 C04B41/88(2006.01)I;H01L23/15(2006.01)I 主分类号 C04B41/88(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 丁香兰;张志楠
主权项 一种陶瓷配线基板的制造方法,其包括通过低温生长法在陶瓷基板上形成铜层;使所述铜层升温到铜的退火温度以上;和所述升温后将所述铜层冷却。
地址 日本岐阜县